As poluprovodnikKako se mikroelektronske tehnologije razvijaju prema većim performansama i većoj integraciji, postavljaju se veći zahtjevi za čistoću elektronskih specijalnih gasova. Tehnologija cjevovoda za gas visoke čistoće važan je dio sistema snabdijevanja gasom visoke čistoće. To je ključna tehnologija za isporuku gasova visoke čistoće koji ispunjavaju zahtjeve do mjesta korištenja gasa, a istovremeno održavaju kvalifikovani kvalitet.
Tehnologija cjevovoda visoke čistoće uključuje pravilan dizajn sistema, odabir cijevnih spojnica i pomoćnih materijala, izgradnju, ugradnju i ispitivanje.
01Opšti koncept cjevovoda za prenos plina
Svi plinovi visoke čistoće i čistoće moraju se transportovati do terminalne plinske tačke putem cjevovoda. Da bi se ispunili zahtjevi za kvalitetom procesa za plin, kada je indeks izvoza plina siguran, potrebno je obratiti pažnju na odabir materijala i kvalitetu konstrukcije cjevovodnog sistema. Pored tačnosti opreme za proizvodnju ili prečišćavanje plina, na nju uveliko utiču mnogi faktori cjevovodnog sistema. Stoga, odabir cijevi mora biti u skladu s relevantnim principima industrije prečišćavanja i označavanje materijala cijevi na crtežima.
02Značaj visokočistoćih cjevovoda u transportu plina
Značaj cjevovoda visoke čistoće u transportu plina visoke čistoće Tokom procesa topljenja nehrđajućeg čelika, svaka tona može apsorbirati oko 200 g plina. Nakon što se nehrđajući čelik obradi, ne samo da se razni zagađivači zadržavaju na njegovoj površini, već se i određena količina plina apsorbira u njegovu metalnu rešetku. Kada postoji protok zraka kroz cjevovod, dio plina koji je metal apsorbirao ponovno će ući u protok zraka i zagaditi čisti plin.
Kada je protok zraka u cijevi diskontinuiran, cijev stvara adsorpciju pritiska na plin koji prolazi kroz nju. Kada protok zraka prestane prolaziti, plin adsorbiran u cijevi stvara analizu smanjenja pritiska, a analizirani plin također ulazi u čisti plin u cijevi kao nečistoća.
Istovremeno, ciklus adsorpcije i analize će uzrokovati da metal na unutrašnjoj površini cijevi proizvede određenu količinu praha. Ove čestice metalne prašine također zagađuju čisti plin u cijevi. Ova karakteristika cijevi je vrlo važna. Da bi se osigurala čistoća transportiranog plina, ne samo da je potrebno da unutrašnja površina cijevi ima izuzetno visoku glatkoću, već i da ima visoku otpornost na habanje.
Kada plin ima jaka korozivna svojstva, za cjevovode se moraju koristiti cijevi od nehrđajućeg čelika otporne na koroziju. U suprotnom, na unutrašnjoj površini cijevi će se pojaviti mrlje od korozije zbog korozije. U težim slučajevima, veliki komadi metala će se ljuštiti ili čak probušiti, čime će kontaminirati čisti plin koji se transportuje.
03Materijal cijevi
Izbor materijala cijevi treba biti u skladu s potrebama upotrebe. Kvalitet cijevi se općenito mjeri prema hrapavosti unutrašnje površine cijevi. Što je manja hrapavost, manja je vjerojatnost da će prenositi čestice. Općenito se dijele na tri vrste:
Jedan jeCijev EP klase 316L, koji je elektrolitički poliran (elektropoliranje). Otporan je na koroziju i ima nisku hrapavost površine. Rmax (maksimalna visina od vrha do dna) je oko 0,3 μm ili manje. Ima najveću ravnost i nije lako formirati mikro-vrtložne struje. Uklonite kontaminirane čestice. Reakcijski plin koji se koristi u procesu treba dovoditi na ovom nivou.
Jedan jeBA klasa 316Lcijev, koja je tretirana postupkom Bright Anneal i često se koristi za plinove koji su u kontaktu sa čipom, ali ne učestvuju u procesnoj reakciji, kao što su GN2 i CDA. Jedna je AP cijev (Annealing & Picking - žarenje i sakupljanje), koja nije posebno tretirana i uglavnom se koristi za dvostruke setove vanjskih cijevi koje se ne koriste kao vodovi za dovod plina.
04 Izgradnja cjevovoda
Obrada otvora cijevi jedna je od ključnih tačaka ove građevinske tehnologije. Rezanje i prefabrikacija cjevovoda izvode se u čistom okruženju, a istovremeno se osigurava da prije rezanja nema štetnih tragova ili oštećenja na površini cjevovoda. Pripreme za ispiranje dušikom u cjevovodu treba izvršiti prije otvaranja cjevovoda. U principu, zavarivanje se koristi za spajanje visokočistih i neoštećenih cjevovoda za prijenos i distribuciju plina s velikim protokom, ali direktno zavarivanje nije dozvoljeno. Treba koristiti spojeve kućišta, a materijal cijevi koji se koristi ne smije mijenjati strukturu tokom zavarivanja. Ako se zavari materijal s previsokim sadržajem ugljika, propusnost zraka zavarenog dijela će uzrokovati da plin unutar i izvan cijevi prodiru jedan u drugi, uništavajući čistoću, suhoću i neškodljivost transportnog plina, što će dovesti do ozbiljnih posljedica i utjecati na kvalitetu proizvodnje.
Ukratko, za plinovode visoke čistoće i posebne plinovode za prijenos, moraju se koristiti posebno obrađene cijevi od nehrđajućeg čelika visoke čistoće, što čini da cjevovodni sistem visoke čistoće (uključujući cjevovode, cijevne spojnice, ventile, VMB, VMP) zauzima vitalnu ulogu u distribuciji plina visoke čistoće.
Vrijeme objave: 26. novembar 2024.