As poluprovodnika mikroelektronske tehnologije se razvijaju prema većim performansama i većoj integraciji, postavljaju se veći zahtjevi za čistoću elektronskih specijalnih plinova. Tehnologija cjevovoda za plin visoke čistoće važan je dio sistema za opskrbu plinom visoke čistoće. To je ključna tehnologija za isporuku plinova visoke čistoće koji ispunjavaju zahtjeve do mjesta korištenja plina uz istovremeno održavanje kvalificiranog kvaliteta.
Tehnologija cjevovoda visoke čistoće uključuje ispravan dizajn sistema, izbor cijevne armature i pomoćnih materijala, konstrukciju i ugradnju i ispitivanje.
01Opći koncept cjevovoda za prijenos plina
Svi plinovi visoke čistoće i visoke čistoće moraju se transportirati do terminalne plinske točke kroz cjevovode. Da bi se ispunili zahtjevi kvaliteta procesa za plin, kada je indeks izvoza plina siguran, potrebno je obratiti pažnju na izbor materijala i kvalitetu konstrukcije cijevnog sistema. Pored tačnosti opreme za proizvodnju ili prečišćavanje gasa, na nju u velikoj meri utiču i mnogi faktori cevovodnog sistema. Stoga, odabir cijevi mora biti u skladu s relevantnim principima industrije prečišćavanja i označiti materijal cijevi na crtežima.
02Značaj cjevovoda visoke čistoće u transportu gasa
Značaj cevovoda visoke čistoće u transportu gasa visoke čistoće Tokom procesa topljenja nerđajućeg čelika, svaka tona može apsorbovati oko 200 g gasa. Nakon što se nerđajući čelik obradi, ne samo da se razni zagađivači zaglavljuju na njegovoj površini, već se i određena količina gasa apsorbuje u njegovoj metalnoj rešetki. Kada postoji protok vazduha koji prolazi kroz cevovod, deo gasa koji apsorbuje metal će ponovo ući u protok vazduha i zagaditi čisti gas.
Kada je protok zraka u cijevi diskontinuiran, cijev stvara adsorpciju pritiska na plin koji prolazi. Kada protok vazduha prestane da prolazi, gas adsorbovan u cevi formira analizu smanjenja pritiska, a analizirani gas takođe ulazi u čisti gas u cevi kao nečistoća.
U isto vrijeme, ciklus adsorpcije i analize će uzrokovati da metal na unutrašnjoj površini cijevi proizvede određenu količinu praha. Ova čestica metalne prašine takođe zagađuje čisti gas u cevi. Ova karakteristika cijevi je vrlo važna. Da bi se osigurala čistoća transportiranog plina, ne samo da je potrebno da unutrašnja površina cijevi ima izuzetno veliku glatkoću, već i da ima visoku otpornost na habanje.
Kada plin ima jaka korozivna svojstva, za cijevi se moraju koristiti cijevi od nehrđajućeg čelika otporne na koroziju. U suprotnom će se na unutrašnjoj površini cijevi pojaviti mrlje korozije zbog korozije. U teškim slučajevima, veliki komadi metala će se oljuštiti ili čak perforirati, čime će se kontaminirati čisti plin koji se transportira.
03 Materijal cijevi
Odabir materijala cijevi potrebno je odabrati prema potrebama upotrebe. Kvalitet cijevi se općenito mjeri prema hrapavosti unutrašnje površine cijevi. Što je manja hrapavost, manja je vjerovatnoća da će nositi čestice. Generalno se deli na tri tipa:
Jedan jeEP cijev 316L, koji je elektrolitički poliran (Electro-Polish). Otporan je na koroziju i ima malu hrapavost površine. Rmax (maksimalna visina vrha do doline) je oko 0,3 μm ili manje. Ima najveću ravnost i nije lako formirati mikro vrtložne struje. Uklonite kontaminirane čestice. Reakcioni gas koji se koristi u procesu treba da bude doveden na ovom nivou.
Jedan je aBA razred 316Lcijevi, koja je obrađena Bright Anneal-om i često se koristi za plinove koji su u kontaktu sa čipom, ali ne učestvuju u reakciji procesa, kao što su GN2 i CDA. Jedna je AP cijev (Annealing & Picking), koja nije posebno obrađena i općenito se koristi za dvostruke setove vanjskih cijevi koje se ne koriste kao vodovi za dovod plina.
04 Izgradnja cjevovoda
Obrada otvora cijevi jedna je od ključnih točaka ove tehnologije gradnje. Rezanje i prefabrikacija cjevovoda se izvode u čistom okruženju, a istovremeno se osigurava da na površini cjevovoda prije rezanja nema štetnih tragova ili oštećenja. Prije otvaranja cjevovoda treba izvršiti pripreme za ispiranje dušika u cjevovodu. U principu, zavarivanje se koristi za povezivanje cevovoda za prenos i distribuciju gasa visoke čistoće i visoke čistoće sa velikim protokom, ali direktno zavarivanje nije dozvoljeno. Potrebno je koristiti spojeve kućišta, a materijal cijevi koji se koristi mora biti bez promjene strukture tokom zavarivanja. Ako se zavari materijal sa previsokim sadržajem ugljika, propusnost zavarivačkog dijela će uzrokovati da plin unutar i izvan cijevi prodire jedan u drugi, uništavajući čistoću, suhoću i čistoću transportnog plina, što će dovesti do ozbiljnih posljedica i utiču na kvalitet proizvodnje.
Ukratko, za plinovode visoke čistoće i specijalne plinovode za prijenos plina, mora se koristiti posebno obrađena cijev od nehrđajućeg čelika visoke čistoće, što čini da sistem cjevovoda visoke čistoće (uključujući cjevovode, cijevne spojnice, ventile, VMB, VMP) zauzima vitalna misija u distribuciji gasa visoke čistoće.
Vrijeme objave: 26.11.2024