1. Definicija sistema za rasuti plin:
Skladištenje i kontrola pritiska inertnih gasova Tipovi gasa: Tipični inertni gasovi (azot, argon, komprimovani vazduh, itd.)
Veličina cjevovoda: od 1/4 (praćenje cjevovoda) do glavnog cjevovoda od 12 inča
Glavni proizvodi sistema su: membranski ventil/ventil sa mehovima/kuglasti ventil, konektor visoke čistoće (VCR, oblik za zavarivanje), konektor za ferrule, ventil za regulaciju pritiska, manometar, itd.
Trenutno, novi sistem uključuje i sistem specijalnog gasa u rasutom stanju, koji koristi fiksne plinske boce ili cisterne za skladištenje i transport.
2. Definicija sistema za pročišćavanje:
Uklanjanje nečistoća iz rasutog gasa za gasovode visoke čistoće
3. Definicija plinskih ormara:
Omogućavaju kontrolu pritiska i praćenje protoka za posebne izvore gasa (toksični, zapaljivi, reaktivni, korozivni gasovi) i imaju mogućnost zamene gasnih boca.
Lokacija: Nalazi se na podu podfabrika ili donjem spratu za skladištenje specijalnih gasova Izvor: NF3, SF6, WF6, itd.
Veličina cjevovoda: Unutarnji plinovod, općenito 1/4 inča za procesni cjevovod, 1/4-3/8 inča uglavnom za cjevovod za pročišćavanje dušika visoke čistoće.
Glavni proizvodi: Membranski ventili visoke čistoće, nepovratni ventili, manometri, manometri, konektori visoke čistoće (VCR, oblik za zavarivanje) Ovi plinski ormarići u osnovi sadrže mogućnosti automatskog prebacivanja za cilindre kako bi se osiguralo kontinuirano snabdijevanje plinom i sigurna zamjena cilindara.
4. Definicija distribucije:
Spajanje izvora plina na zavojnicu za prikupljanje plina
Veličina linije: U tvornici čipova, veličina distributivnog cjevovoda za rasuti plin općenito se kreće od 1/2 inča do 2 inča.
Oblik priključka: Specijalni plinovodi se uglavnom spajaju zavarivanjem, bez ikakvih mehaničkih spojeva ili drugih pokretnih dijelova, uglavnom zato što spoj za zavarivanje ima jaku pouzdanost brtvljenja.
U fabrici čipova postoje stotine kilometara cevi povezanih za prenos gasa, koje su u osnovi dugačke oko 20 stopa i međusobno zavarene. Neki zavoji cijevi i spojevi za zavarivanje cijevi također su vrlo česti.
5. Multifunkcionalna ventilska kutija (Kutija razvodnika ventila, VMB) Definicija:
To je distribucija specijalnih gasova iz izvora gasa na različite krajeve opreme.
Veličina unutrašnjeg cjevovoda: 1/4 inča procesnog cjevovoda i 1/4 - 3/8 inča cjevovoda za pročišćavanje. Sistem može koristiti kompjutersku kontrolu da zahteva aktivirane ventile ili situacije sa nižim troškovima sa ručnim ventilima.
Sistemski proizvodi: membranski ventili/ventili s mehovima visoke čistoće, nepovratni ventili, spojevi visoke čistoće (VCR, oblik za mikro zavarivanje), ventili za regulaciju pritiska, manometri i manometri, itd. Za distribuciju nekih inertnih gasova, Panel razvodnika ventila - Uglavnom se koristi VMP (multifunkcionalni ventilski disk) koji ima otvorenu površinu plinskog diska i ne zahtijeva dizajn zatvorenog prostora i dodatno pročišćavanje dušikom.
6. Sekundarna ventilska ploča/kutija (ploča za spajanje alata) Definicija:
Povežite gas koji je potreban za poluprovodničku opremu od izvora gasa do kraja opreme i obezbedite odgovarajuću regulaciju pritiska. Ovaj panel je sistem za kontrolu gasa koji je bliži kraju opreme nego VMB (multifunkcionalna ventilska kutija).
Veličina gasovoda: 1/4 - 3/8 inča
Veličina cjevovoda za tekućinu: 1/2 - 1 inča
Veličina ispusnog cjevovoda: 1/2 - 1 inča
Glavni proizvodi: membranski ventil/ventil s mehom, jednosmjerni ventil, ventil za regulaciju tlaka, manometar, mjerač tlaka, spoj visoke čistoće (VCR, mikro zavarivanje), ferulni spoj, kuglični ventil, crijevo, itd.
Vrijeme objave: 22.11.2024