1. Definicija sistema za rasuti gas:
Skladištenje i kontrola pritiska inertnih gasova Vrste gasova: Tipični inertni gasovi (azot, argon, komprimovani vazduh, itd.)
Veličina cjevovoda: Od 1/4 (cjevovod za praćenje) do glavnog cjevovoda od 12 inča
Glavni proizvodi sistema su: membranski ventil/mijeh ventil/kuglasti ventil, konektor visoke čistoće (VCR, zavarivanje), konektor sa ferulom, ventil za regulaciju pritiska, manometar itd.
Trenutno, novi sistem također uključuje sistem za specijalni plin u rasutom stanju, koji koristi fiksne plinske boce ili cisterne za skladištenje i transport.
2. Definicija sistema za prečišćavanje:
Uklanjanje nečistoća iz rasutih plinova za plinovode visoke čistoće
3. Definicija plinskih ormara:
Omogućavaju kontrolu pritiska i praćenje protoka za posebne izvore gasa (toksični, zapaljivi, reaktivni, korozivni gasovi) i imaju mogućnost zamjene plinskih boca.
Lokacija: Nalazi se na podspratu fabrike ili na donjem spratu za skladištenje posebnih gasova. Izvor: NF3, SF6, WF6, itd.
Veličina cjevovoda: Unutrašnji plinovod, uglavnom 1/4 inča za procesni cjevovod, 1/4-3/8 inča uglavnom za cjevovod za pročišćavanje dušikom visoke čistoće.
Glavni proizvodi: Visokočistoćni membranski ventili, nepovratni ventili, manometri, priključci visoke čistoće (VCR, oblik za zavarivanje) Ovi plinski ormari u osnovi sadrže mogućnosti automatskog prebacivanja boca kako bi se osigurala kontinuirana opskrba plinom i sigurna zamjena boca.
4. Definicija distribucije:
Spajanje izvora plina na zavojnicu za sakupljanje plina
Veličina linije: U fabrici čipa, veličina cjevovoda za distribuciju plina u rasutom stanju obično se kreće od 1/2 inča do 2 inča.
Oblik spajanja: Specijalni plinovodi se uglavnom spajaju zavarivanjem, bez ikakvih mehaničkih veza ili drugih pokretnih dijelova, uglavnom zato što zavareni spoj ima jaku pouzdanost brtvljenja.
U fabrici čipova postoje stotine kilometara cijevi povezanih za prenos gasa, koje su u osnovi duge oko 6 metara i zavarene zajedno. Neki savijanja cijevi i cjevasti zavareni spojevi su također vrlo česti.
5. Definicija višenamjenske ventilske kutije (Valve Manifold Box, VMB):
Služi za distribuciju posebnih plinova od izvora plina do različitih krajeva opreme.
Unutrašnja veličina cjevovoda: procesni cjevovod od 1/4 inča i cjevovod za pročišćavanje od 1/4 - 3/8 inča. Sistem može koristiti računarsku kontrolu kako bi zahtijevao aktivirane ventile ili jeftinije situacije s ručnim ventilima.
Sistemski proizvodi: visokočisti membranski ventili/mijehovi ventili, nepovratni ventili, visokočisti spojevi (VCR, mikro-zavarivanje), ventili za regulaciju pritiska, manometri i pritisci, itd. Za distribuciju nekih inertnih gasova uglavnom se koristi Ventilski kolektor - VMP (višenamjenski ventilski disk), koji ima otvorenu površinu diska za gas i ne zahtijeva dizajn zatvorenog prostora i dodatno čišćenje azotom.
6. Definicija sekundarne ploče/kutije ventila (panel za spajanje alata):
Spojite plin potreban za poluprovodničku opremu od izvora plina do kraja opreme i osigurajte odgovarajuću regulaciju pritiska. Ova ploča je sistem za kontrolu plina koji je bliži kraju opreme nego VMB (višenamjenska kutija ventila).
Veličina plinovoda: 1/4 - 3/8 inča
Veličina cjevovoda za tekućinu: 1/2 - 1 inč
Veličina ispusnog cjevovoda: 1/2 - 1 inč
Glavni proizvodi: membranski ventil/mijeh ventil, jednosmjerni ventil, ventil za regulaciju pritiska, manometar, manometar, spoj visoke čistoće (VCR, mikro-zavarivanje), spoj s ferulom, kuglasti ventil, crijevo itd.
Vrijeme objave: 22. novembar 2024.